稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；
源气质量流量计可控制到0-100SCCM；
2路校准口入口和1路吹扫口；
1路稀释气入口，3路输出口和1路排空口

稀释入口：1路标准；

源气入口：1路标准，1路吹扫；

稀释流量：0-10SLM（0-20SLM可选）；

源气流量：0-100SCCM（0-2SLM可选）；

流量精度：≤1%FS；

流量重复：≤±0.15%FS；

线    性：≤±0.5%FS；

响应时间：<1分钟；

操作：按键，键盘，串口，USB，以太网；

校准定义：20个工厂配置流路，每个流路可zui大20个线性点；

校准类型：稀释气，臭氧，GPT；

仪器特点：

操作简单，方便；

温度显示稳定,可靠；

压力可调,面板带压力表；

可方便地放入渗透管。

性能参数

温度控制：基于微处理器的比例温控系统；

温度传感器：RTD;

前面板安装：调压器，压力表，温控器，稀释炉入口

特氟龙炉身尺寸：内径3.09cm，长度12.7cm，

   温控范围：高于环境温度2℃到65℃，

性能参数

温度控制：基于微处理器的比例温控系统；

温度传感器：RTD;

前面板安装：调压器，压力表，温控器，稀释炉入口

特氟龙炉身尺寸：内径3.09cm，长度12.7cm，

   温控范围：高于环境温度2℃到65℃，